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Bdiscom等離子體發(fā)生器的關鍵組成部分

發(fā)布時間: 2025-03-12  點擊次數(shù): 45次

等離子體發(fā)生器概述

Bdiscom等離子體發(fā)生器是一種將氣體電離產(chǎn)生等離子體的設備。等離子體是物質(zhì)的第四態(tài),由離子、電子和中性粒子組成,具有高能量和活性,廣泛應用于工業(yè)、科研和醫(yī)療領域。


Bdiscom等離子體發(fā)生器的關鍵組成部分

  1. 電源

    • 提供高頻或高壓電能,用于電離氣體。

  2. 電極

    • 用于產(chǎn)生電場,使氣體電離。

  3. 氣體供應系統(tǒng)

    • 提供工作氣體(如氬氣、氮氣、氧氣等)。

  4. 控制系統(tǒng)

    • 調(diào)節(jié)功率、頻率和氣體流量,以控制等離子體的特性。


等離子體發(fā)生器的工作原理

  1. 氣體被引入反應室。

  2. 電源提供高頻或高壓電能,通過電極產(chǎn)生強電場。

  3. 氣體分子在電場中被電離,形成等離子體。

  4. 等離子體被引導到目標區(qū)域,用于特定應用。


等離子體發(fā)生器的應用

  1. 工業(yè)領域

    • 表面處理:清潔、活化和涂層(如提高材料表面的附著力)。

    • 半導體制造:用于刻蝕和沉積工藝。

    • 廢氣處理:分解有害氣體和污染物。

  2. 科研領域

    • 等離子體物理研究:研究等離子體的性質(zhì)和行為。

    • 材料科學:開發(fā)新型材料和涂層。

  3. 醫(yī)療領域

    • 醫(yī)療器械消毒:利用等離子體殺滅細菌和病毒。

    • 傷口處理:促進傷口愈合。

  4. 能源領域

    • 核聚變研究:用于可控核聚變實驗。

    • 等離子體推進:用于航天器的推進系統(tǒng)。

       Bdiscom的BDS-MF 是一款 40 kHz 等離子體發(fā)生器,最大輸出功率為 5、10 或 15 kW,專為 PECVD 或等離子體清洗應用上的等離子體激發(fā)而設計。該裝置能夠在 7000V RMS 輸出下提供高達 10kW 的功率。

輸出為平衡型,能夠驅動 2 個對稱電極。典型應用是大型工藝腔室上的 PE-CVD 工藝。一個功能是高壓匹配變壓器內(nèi)置 2 個(標準)或 3 個(根據(jù)要求)變壓器抽頭作為阻抗匹配。

用戶只需將兩根同軸電纜連接到電極上。與用戶 PLC 的接口可以是模擬或數(shù)字 RS232 或 Profibus(根據(jù)要求)。


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